Zuverlässige Erfassung des Abwasserstands im Scrubber-Sumpf

Als ein Halbleiterhersteller an der Golfküste eine zuverlässige Füllstandserfassung seiner Wäschersümpfe benötigte, wandte er sich an Flowline. Chemikalien wie Silan, Phosphin und Arsin werden bei der Waferherstellung verwendet, und der entstehende gefährliche Dampfstrom muss vor der Freisetzung gemäß den EPA-Standards gereinigt werden. Der Abbauprozess ist während der Herstellung konstant und die Steuerung der Wäschersumpf-Füllstände ist von entscheidender Bedeutung. Der Integrator benötigte einen zuverlässigen, korrosionsbeständigen Füllstandsschalter, der von Partikelrückständen oder Chemikalien nicht beeinträchtigt wird. Aus diesem Grund schlug Flowline unseren Switch-Pak-Ultraschall-Einpunkt-Füllstandschalter vor, der aus korrosionsbeständigem PP gefertigt ist. Zwei Ultraschallschalter liefern eine zuverlässige Füllstandserkennung an die SPS, die jeden Sumpf steuert. Flowline steht für zuverlässige Füllstandsmessung.